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设备太阳能电池工艺四十五所:以半导体装备国产化为己任

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中国电子科技集团公司第四十五研究所(以下简称四十五所)是我国专业从事半导体专用工艺设备研发、制造和技术服务的大型科研生产机构,承担着多项“863”重大设备攻关、国家02专项、IC后封装设备产业化示范工程关键设备研发与产业化以及工业和信息化部发展基金等项目。四十五所凭借其多年来的技术积累,默默地耕耘在半导体设备领域。

企业生命力在于产品生命力

四十五所的主要产品面向微电子、半导体照明(LED)、太阳能光伏、半导体分立器件及元件、特种材料和其他电子元器件等领域。其中,微电子及分立器件主要涉及光刻机、CMP、清洗系统、探针台、划片机、焊线机等产品;LED主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品;太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)主要涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干机、划片机等产品;特种材料和其他元件涉及的产品包括切片机、清洗机、甩干机、划片机、CMP、抛光机等产品。

企业的生命力在于产品的生命力。2008年下半年后,面对国际金融危机的影响,面对下游产业的萎缩,四十五所积极历练内功,抓好现有产品的质量提升,加快新产品的开发速度,瞄准太阳能光伏市场需求进行技术创新。大尺寸多线切割机、单晶和多晶全自动制绒机、大生产用156mm×156mm高效半自动印刷机、200片大容量清洗甩干机等设备已批量进入国内主要的太阳能电池生产企业。其中,多线切割机已批量进入国内材料加工企业,4个型号的网版印刷机已装备在国内几十条太阳能生产线和试验线。针对太阳能电池印刷的技术特点,四十五所又成功研制了太阳能电池片全自动印刷线,用于晶体硅太阳能电池基片的背铝、背银和正银印刷以及烘干、烧结、测试和分选。目前该线已成功被国内最大的太阳能电池片厂采购,已有多家意向采购单位在谈判中。该设备和多线切割机的成功研制填补了国产设备在太阳能生产行业的空白。

目前,四十五所正在进行多晶硅太阳能电池片链式制绒清洗设备的研制工作。该设备采用在线式结构,除上料、下料外全工艺过程实现了自动控制,它克服了目前槽式清洗设备在制绒等工艺中的酸式腐蚀方式,解决了制绒液成分配比、浓度、温度及腐蚀工艺时间控制难度大而无法保证制绒效果质量的问题。自2010年上半年该设备推向市场以来,打破了国内外80%以上的在线式酸洗制绒设备市场由德国RENA公司和德国SCHMID公司等企业控制的局面,满足了飞速发展的太阳能电池片产业的需要,实现了产品的自主创新和技术进步。

坚持设备研制与工艺开发结合

随着太阳能光伏行业的不断发展,四十五所将发挥在研发方面的优势,积极跟踪生产工艺的发展,不断改进和提高设备的工艺适应性,以适应市场的发展及工艺的要求。对于设备的研发我们始终坚持:一是设备研制与工艺开发要紧密结合。将设备的研制开发与用户单位的工艺研究联系起来,使一些高水平的工艺技术和设备研制相结合。二是更新观念,提高产品质量。在设备研制过程中,零部件配套要走向社会化、国际化,以利于专业化配套和与国际标准接轨。三是实施品牌战略,建立健全市场营销体系和售后服务体系。四是跟踪国外先进技术和设备发展的新趋势,提高自主创新能力。加强与国内新工艺研究单位的合作,提前进行相关制造设备的开发,进行风险投入,提高自主设备创新能力。

作为有着50多年发展历史的专业设备制造商,四十五所始终关注行业的发展,始终以装备国产化为己任,继续发挥研究所在研发方面的优势,积极跟踪生产工艺的发展,不断改进和提高设备的工艺适应性,始终坚守以“诚信和谐、严谨创新、求实奋进、精益求精”为核心的价值观,走产业化之路,始终把核心技术拥有战略、成本质量领先战略、做实做精做强做大战略及优质服务战略作为发展战略,为用户提供适应生产工艺、满足大工业生产、高可靠性的设备是我们始终追求的目标。

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