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成品率布局单元瑞萨携手Takumi逐步优化宏单元

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美国Takumi Technology宣布,在瑞萨科技的协助下开发的宏单元(Macrocell,标准单元)布局优化系统已经完成(发布资料,PDF文件)。 瑞萨将把该系统应用于面向65nm工艺的宏单元中。

  一般来说,一个新制造工艺到成熟之前,为提高成品率等需要改进工艺。因此,最初开发的宏单元,也需要随着工艺的成熟逐步优化。此次的系统就适用于这种优化处理。

  瑞萨与Takumi通过技术合作,完善了优化规则。这种优化规则的特点是:嵌入了制造工序的缺陷信息、曝光工序的参数等可从实际的制造工序中获取的信息。

  Takumi表示,此次的系统按照一定标准对单元的布局进行分析,并对可能出现的缺陷进行处理优先度的判断。然后权衡成本,进行布局优化。这样,既不违反规则,又可自动获取高成品率的布局。

  新闻发布会上,瑞萨的中屋雅夫(业务执行官 产品技术本部 本部长)和原田辉昭(产品技术本部 设计技术总部 DFM·EDA技术开发部部长)做了说明。“Takumi的解决方案非常灵活,可以设定瑞萨特有的成品率标准、成品率损失以及改进的先后顺序”(中屋)。“对500个宏单元的库进行了分析及物理布局的优化。通多元处理,在极短的时间内就获得了改善成品率的库。生产能力提高了3倍以上”。

来源:日经BP社

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